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激光干涉仪-精度标定

激光干涉仪-精度标定

  • 分类：应用案例
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  • 发布时间：2020-03-16
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【概要描述】

激光干涉仪-精度标定

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  • 分类：应用案例
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　　采用英国雷尼绍的激光干涉仪和瑞典海克斯康的二次元等高精度标定仪调试工具。

　　激光干涉仪具有超高分辨率，可达0.001μm。我们对各运动轴进行高精度标定，绝对定位精度小于±1μm。重复定位精度小于±0.5μm。配合先进的龙门双驱算法，为高精度微组装工艺提供可靠保障。

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