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视觉系统
视觉系统可全方位快速探测和定位并拥有强大的基片基点对准能力。这令诸如MIMICS和梁式引线二极管等定位要求高的芯片的校准成为可能。视觉系统根据基片基点、芯片边缘或已贴放芯片特征点的相对位置对准并贴放芯片。这保证了光路件和微波器件的重复精度及对准的精确度。两套视觉系统配合使用可以完成正装贴合工艺和倒装贴合工艺。每台相机的环形光和同轴光的光强度编程可调,从而达到在最佳的背景光下进行芯片校准。RGB可编程光源为多种复杂表面的校准提供了更高的识别能力。
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激光干涉仪-精度标定
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